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石英舟清洗方法介绍

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石英舟清洗方法介绍

发布日期:2017-07-20 00:00 来源:http://www.alfaquartz.com 点击:

(1)将石英舟放入浓度为10% 25%的氢氟酸进行浸泡40min 120min后,放入喷淋槽用纯水喷淋,喷淋时间为20min 90min ;

(2)清洗后的干燥用气体干燥剂吹干;

(3)石英舟的饱和将石英舟放入炉温为800°C 900°C的管式扩散炉中,通入氧气和流量为1000 3000ml/Min三氯氧磷液态源,其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1 5 (4)最后用10 30L/Min的氮气或者氧气冷却石英舟。

以上是我公司对于石英舟清洗的介绍,想要了解更多关于石英制品的介绍,欢迎广大各地的朋友随时拨打我们的电话:庄经理(15261337288 )微信同步www.alfaquartz.com

石英棒舟

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